真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统 、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组 、机械加工等行业。
该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示 、运行保护及远程控制接口等 。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统 。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走 、磁控靶 、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。
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